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引言：超纯水——芯片制造的命脉
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极高的洁净度：传感器材料必须为高等级不锈钢（如316L L-VMP），表面电解抛光（Ra≤0.4μm），且无死角，不析出离子，不吸附污染物。 •
耐高温消毒：系统需定期进行高温纯蒸汽或热水杀菌（SIP），传感器须能耐受120℃以上高温。 •
耐腐蚀：能耐受臭氧水等强氧化性杀菌环境的腐蚀。 •
测量稳定：超纯水电阻率极高（18.2 MΩ·cm），介电常数稳定，要求传感器具有极高的信噪比和稳定性。
1.
满足最高洁净标准：传感器接液部分可采用符合SEMI F72标准的洁净材料和处理工艺，确保不会成为污染源。 2.
完美的卫生型连接：可提供Tri-Clamp、ISO、SMS等卫生型过程连接，确保无死角。 3.
耐受SIP流程：采用高温兼容的电子元件和密封材料，稳定承受杀菌温度。 4.
精准测量：针对超纯水的特性进行优化设计，提供稳定、重复性高的液位信号。
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超纯水储罐：监控储罐液位，与制水设备（RO/EDI/抛光混床）联动，保持水平衡。 •
清洗机供水系统：为晶圆清洗机前的供水罐提供液位控制信号。 •
高纯化学药液罐：监测稀释后高纯化学品（如SC1， SC2）的液位。
